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        華鑫證券-中微公司-688012-ICP刻蝕設備快速放量,多品線研發持續推進布局產業發展-220810

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        日期:2022-08-11 09:31:42 研報出處:華鑫證券
        股票名稱:中微公司 股票代碼:688012
        研報欄目:公司調研 范益民  (PDF) 7 頁 392 KB 分享者:djw****56 推薦評級:推薦
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        研究報告內容
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          事件

          公司發布2022年半年報業績:營業收入19.7億元,同比增長47.3%;歸母凈利潤4.67億元,同比增長17.9%;扣非歸母凈利潤4.41億元,同比增長615.3%。http://www.hibor.com.cn【慧博投研資訊】

          投資要點

          ▌人效管理持續提升,盈利能力不斷增強

          受益于設備市場發展以及公司產品競爭優勢,公司不懼疫情擾動,2022年上半年實現營業收入19.7億元,同比增長47.3%。http://www.hibor.com.cn(慧博投研資訊)上半年公司毛利率45.3%,同比提升3pct;公司銷售費用率8.72%,同比下滑2.28pct,其中本期職工薪酬增加0.22億元,股付費用減少976萬元;管理費用率5.1%,同比下滑2.8pct,其中股份支付費用減少0.13億元,職工薪酬增加981萬元;公司2022年上半年人均年化營收達350萬元,公司人效持續提升。財務費用率-5.18%,同比減少4.67pct,主要系利息收入增加0.67億元。2022年上半年歸母凈利潤4.67億元,同比增長17.9%;扣非歸母凈利潤4.41億元,同比增長615.3%,其中非經常性損益同比減少3.08億元,包括計入非經損益的政府補助同比減少2.03億元(上半年計入當期損益的政府補助0.1億元)及股權投資纏繩的公允價值變動收益減少1.77億元。公司上半年扣非凈利率22.4%,同比增長17.8pct,盈利能力持續走強。公司2季度單季扣非歸母凈利潤2.55億元,扣非歸母凈利潤率達到25%,同比提升18pct,環比Q1增長5.4pct,創單季度歷史新高。

          ▌刻蝕設備毛利率達46.1%,ICP刻蝕設備快速放量

          公司2022年上半年刻蝕設備收入13.0億元,同比增長51.5%;其中CCP刻蝕設備收入8.86億元,同比增長14.0%,ICP刻蝕設備收入4.13億元,同比增長414%,處于快速放量階段??涛g設備毛利率達46.1%,盈利能力進一步提升。

          CCP刻蝕設備方面,上半年公司持續得到眾多客戶的批量訂單,市場占有率不斷提升,在部分客戶市場占有率已進入前三位,在一些主要客戶的生產線上已達到30%甚至更高的市場占有率。在先進邏輯電路方面,公司持續升級產品性能,CCP刻蝕設備成功取得5nm及以下邏輯電路客戶的重復訂單。在存儲電路方面,公司CCP設備可應用于64層、128層及更高層數NAND的量產,隨著3DNAND芯片制造廠產能的迅速爬升,該等產品的重復訂單高速穩步增長。同時積極布局并拓展刻蝕設備在動態存儲器的應用,隨著更多工藝開發及驗證通過,已經取得客戶批量訂單。

          目前公司正根據存儲器廠商的需求開發新一代能夠覆蓋200層以上極高深寬比的關鍵刻蝕應用以及其他關鍵刻蝕應用的刻蝕設備和工藝。

          ICP刻蝕設備方面,公司刻蝕線寬均勻性已達到1σ 0.25納米的水平,年銷售額增速超100%,已經進入超15家客戶的生產線進行100多個ICP刻蝕工藝的驗證。上半年Primo Nanova系列順利交付超40臺反應腔,在客戶端完成驗證的應用數量也在持續增加,持續取得國際先進3DNAND客戶批量訂單,高輸出率的Primo Twin-star系列已經在國內領先客戶生產線上完成認證,訂單量持續增加,已進入更多客戶端進行驗證。

          根據客戶的技術發展需求,公司正在進行下一代產品的技術研發,以滿足5nm以下的邏輯芯片、1X納米的DRAM芯片和200層以上的3DNAND芯片等產品的刻蝕需求,并進行高產出的ICP刻蝕設備的研發;用于5nm邏輯芯片的ICP刻蝕機已經完成在先進邏輯芯片生產廠家評估并實現銷售;用于3nm邏輯芯片的ICP刻蝕機已經完成Alpha原型機設計、制造、測試及初步的工藝開發和評估;用于7-5nm Finfet結構的邏輯芯片的ICP刻蝕機已經研制出樣機并制造工程機在客戶端驗證。

          公司8和12英寸深硅刻蝕設備Primo TSV200E、PrimoTSV300E在先進系統封裝、2.5維封裝和微機電系統芯片生產線等成熟刻蝕市場繼續獲得重復訂單,同時在3D芯片等新興市場的刻蝕工藝上也得到驗證。

          此外,公司正在開發的用于邏輯器件大馬士革刻蝕及用于極高深寬比應用的刻蝕機取得了很好的進展,將陸續進入市場。

          ▌MOCVD獲得大批量訂單,業績增長確定性強

          公司2022年上半年MOCVD設備收入2.41億元,同比增長9.9%。MOCVD設備毛利率達35.4%,同比增長4.65pct,或由于高毛利率產品收入占比提升所致。

          公司新開發的制造Mini led藍光和綠光器件的MOCVD設備PrismoUnimax系列已經實現單腔41片4英寸外延芯片加工能力,發光波長的均勻性達到1σ 0.8納米水平。在去年進入市場連續獲得批量訂單的基礎上,今年上半年繼續獲得多家客戶大批量訂單,累計訂單超180腔,考慮到交付周期,或有望在下半年及下一年持續帶來業績。

          公司也正在開發用于氮化鎵、碳化硅功率器件和制造Micro-LED的MOCVD專用設備,目前制造硅基氮化鎵功率器件用MOCVD設備已在客戶芯片生產線上驗證。

          ▌產品研發進展順利,提前布局產業發展

          公司自主研發EPI外延設備和LPCVD設備,公司所開發的鎢沉積設備具有優秀的階梯覆蓋率和填充能力,能夠滿足先進邏輯器件接觸孔填充應用,以及64層、128層和200層以上3DNAND中的多個關鍵應用,目前已通過關鍵客戶的工藝驗證,并積極推進設備在客戶產線進行量產驗證。公司還在持續研發新的填充工藝方案,以滿足更高深寬比接觸孔及溝道電極的需求,接觸孔用WCVD設備正在研究階段。公司的原子層沉積設備的研發也在積極推進中,所開發設備能夠滿足先進存儲器件和邏輯器件金屬阻擋層的應用,以及先進邏輯器件中金屬柵極的應用。EPI設備面向28nm及以下的邏輯、存儲、功率器件等應用,目前研發進展順利,已進入樣機制造和調試階段。隨著研發和驗證進程的持續推進,未來或有望成為新的業績增長點。

          ▌新簽訂單持續高增,產能擴張夯實長期基礎

          公司2021年新簽訂單41.3億元,同比增長90.5%;2022年上半年新增訂單30.6億元,同比增長61.8%,占2021年全年新簽訂單金額比例達74%,訂單增長持續高增。公司2022年上半年存貨24.9億元,同比增長73.7%;合同負債15.9億元,同比增長268%。

          公司南昌生產及研發基地已經部分完工,部分生產潔凈室于2022年7月投入試生產,上海臨港約18萬平方米生產研發基地已大部分封頂;上海臨港滴水湖約10萬平方米總部大樓在順利建設中,預計未來廠房相比現在提升十倍以上,有望夯實長期發展基礎。

          ▌平臺化布局,外延式發展,打造設備龍頭

          公司平臺化布局同時,外延式發展,參股PECVD設備領域拓荊科技、半導體檢測設備領域上海睿勵、光伏電池及平板顯示屏用PECVD領域理想萬里暉,以及鍍膜和膜層改性設備領域SOLAYER,有望打開長期增長空間,鞏固產業鏈協同效應,完善公司業務布局,持續打造半導體設備公司龍頭。

          ▌盈利預測

          預計公司2022-2024年收入分別為45.9/62.6/80.9億元,歸母凈利潤分別為12.4/16.0/19.3億元,對應當前股價對應PE分別為71、55、46倍。給予“推薦”評級。

          ▌風險提示

          半導體市場需求不及預期;下游晶圓制造產能擴充不及預期風險;零部件短缺風險;新設備研發進度不及預期風險等

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